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光掩膜除了應用于集成電路芯片制造外,還廣泛應用與像LCD,PCB等領域。
常見的光掩膜的種類有四種,鉻版、干版,凸版、液體凸版。主要分兩個組成部分,基板和不透光材料?;逋ǔJ歉呒兌?,低反射率,低熱膨脹系數的石英玻璃。
應用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠,硬度小且易吸附灰塵,不過干版還有包膜和超微顆粒干版,其中后者可以應用于芯片制造。是集成電路專業比不可少的元器件。